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中国科学院微电子研究所 
| 联系人：秦威 先生 (经理) |
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| 电 话：010-84025539 |
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| 手 机：18500193075 |
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| 公司介绍 |
中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组(f-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源(13.56MHz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届北京发明创新大赛金奖。
经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前射频电源组分为三个部门：产品研发部，产品生产部，产品推广与售后服务部。
产品研发部：有专业研发人员7人，其中硕士及以上比例100%，具有教授级职称2人，具有博士学历3人，从清华大学，中科院电工所，中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人，目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。
产品生产部：有专业技术工程师17人，具有500平方专业射频电源生产与测试车间（可以进行ESD，EMC等测试），年生产能力达3000台套。
产品推广与售后服务部：有专业推广销售人员4人，专业售后服务人员2人，其中硕士及以上比例100%。
目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。
射频电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，感应加热，医疗领域的消毒与理疗，等离子清洗等领域。
产品现已售往北京、上海、杭州、苏州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的几十所高校、科研单位及半导体设备厂等高技术公司，得到用户的一致好评。
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主营产品或服务：
固态射频电源,射频电源,自动匹配器,手动匹配器,电子管射频电源, |
企业经济性质：
私营有限责任公司 |
经营模式：
生产型 |
员工人数：
11-50人 |
公司注册地：
北京 |
主营行业：
变频器 |
主营市场：
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主要经营地：
北京市朝阳区北土城西路三号 |
注册资金：
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法人代表/负责人：
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成立时间：
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经营品牌：
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管理认证体系：
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是否提供OEM服务：
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